羽生　侑真さん（理工学研究科電気電子工学専攻博士前期課程2年、内田儀一郎教授研究室）

全固体Liイオン電池のためのスパッタリングLiPON薄膜のイオン導電率制御

公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会主催の第39回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)は、プラズマプロセスに関わる物理的?化学的基礎科学を議論し、新しいプロセスの可能性を探求することを目的としたプラズマプロセスに関する国内最大の会議です。今回SPP-39で羽生さんは、プラズマプロセスで10-6 S/cm以上の高いイオン導電率を持つ固体電解質LiPON膜の高速成膜、ならびにそれを用いた全固体Liイオン電池の実証について報告し高い評価を得ました。全固体Liイオン電池は、カーボンニュートラル社会を実現するためのキーデバイスの１つで、今後はデバイス構造を工夫することにより、さらなる高容量化が期待されます。